光伏新能源凈化工程系統用的新風空調機組(MAU)和循環空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷凍水,加熱采用0.2MPa蒸汽,加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕,潔凈蒸汽由純水經潔凈蒸汽發生器產生。
CP室凈化級別為7級,換氣次數取為30次/小時,CP室工藝設備用酸量較多,采用全新風空調機組(MAU-3)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。其氣流流程為:新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-潔凈區。
ML室凈化級別為7級,換氣次數取為30次/小時,采用新風機組(MAU)+循環機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風接自其它系統共用MAU-1、2新風組。
CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級別為6級,換氣次數取為50次/小時,采用新風機組(MAU)+循環機組(AHU)+高效過濾器送風口(HEP-ABOX)的空調方式。新風接自其它系統共用的MAU-1、2新風組。
7級、6級的無塵室采用的氣流形式為頂部高效過濾器送風口送風,房間側下百葉風口回風。其氣流流程為:新回風混合!中效空氣過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效空氣過濾器送風口-潔凈區-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。
洗凈室、品質檢查室凈化級別為7級,采用新風機組(MAU)+循環機組(AHU)+風機過濾器單元(FFU))的空調方式。采用的氣流形式為頂部FFU送風,房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%,洗凈室、品質檢查室對NH4+、SQx濃度有要求,需在循環機組(AHU)內增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為:新回風混合-化學過濾器(NH4+)-化學過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元(FFU)-潔凈區-房間側下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統共用的MAU-1、2新風組。
除CP室外的潔凈室所需新風采用2臺新風機組(MAU-1、2)集中處理,新風集中處理后送至各循環機組(AHU)。其氣流流程為:新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環空調機組(AHU)。
CP室、ML室、洗凈室用酸量相對較多,CP室、ML室內的高效過濾器送風口的擴散板需采用不銹鋼板制作,洗凈室內的FFU的網板需采用不銹鋼板制作。
另需注意,品質檢查室根據工藝要求需采用黑色墻板、黑色頂板,相應采用黑色回風口,FFU的網板需采用黑色網板。